[发明专利]压电薄膜谐振器在审
申请号: | 201911259270.3 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN111327294A | 公开(公告)日: | 2020-06-23 |
发明(设计)人: | 高庸熏;金德桓;朴钟贤 | 申请(专利权)人: | 天津威盛株式会社 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H3/02 |
代理公司: | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人: | 陈国军 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 适用本发明之一实施例的压电薄膜谐振器,包括:基板;下部电极,配置在上述基板上;压电层;配置在上述下部电极上;以及,上部电极,配置在上述压电层上;其中,在上述上部电极的上侧面形成围绕谐振区域的凹凸图案。 | ||
搜索关键词: | 压电 薄膜 谐振器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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