[发明专利]检测装置及工艺腔室检测方法在审
| 申请号： | 201911259479.X | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN111323076A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 金根浩;秋成云 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种检测装置，用于对晶圆进行工艺处理的处理设备的工艺腔室进行检测，检测装置包括承载件及感测器组件，感测器组件形成在承载件上，在检测时段内，感测器组件被传送至工艺腔室内并对工艺腔室进行检测，检测时段包括承载件处于工艺腔室内的时间，检测结果表征工艺腔室的状态，感测器组件包括至少一图像感测器及温度感测器，图像感测器及温度感测器分别位于承载件两个相背离的表面上。本发明的检测装置能够及时使技术人员掌握所述工艺腔室的状态，简化检测流程，降低所述处理设备的维护成本。本发明还提供一种工艺腔室检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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