[发明专利]TDDB测试结构、TDDB测试系统及其测试方法在审
| 申请号： | 201911259658.3 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN113049921A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 蒋昊 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327 | 代理人： | 高静 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种TDDB测试结构、测试系统及其测试方法，所述TDDB测试结构包括：在电压源和地端之间并联连接的多个测试单元，其中，所述多个测试单元的每一个包括：连接至所述地端的电介质测试样本，以及连接在所述电介质测试样本和所述电压源之间的控制模块，所述控制模块在使能信号下导通，在所述电介质测试样本击穿时关断。技术方案中所述控制模块在加载使能信号源时导通，在所述电介质测试样本击穿时关断。当电介质测试样本击穿关断以后，其他测试单元的测试仍在继续。因此，可以同时测量多个测试单元，不需逐个进行测试，大大缩短了测试时间，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | tddb 测试 结构 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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