[发明专利]一种上抛光盘水冷却系统有效
| 申请号： | 201911260499.9 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN110883696B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王腾;阴俊沛;杨帅军;蒲以松 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/02 | 分类号： | B24B55/02;B24B37/12;B24B49/14 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种上抛光盘水冷却系统，包括：上抛光盘；设置于上抛光盘一侧的旋转轴；沿着旋转轴的延伸方向层叠套设于旋转轴上的第一水冷盘和第二水冷盘，第一水冷盘嵌设于上抛光盘上，第二水冷盘上设置有多个进水口，第一水冷盘设置有出水口，出水口与设置于旋转轴内的出水通道连通，第一水冷盘和第二水冷盘之间通过导流管连通。解决上抛光盘在抛光过程中温度升高以及径向温度分布不均的问题，且第一水冷盘嵌入上抛光盘，增加了水冷盘与上抛光盘的接触面积，且第一水冷盘内的腔体是一没有被分隔的整体结构，相对于传统的冷却盘内设置较多分割筋结构，本发明增大了冷却盘的腔体体积，使能容纳的冷却水相应增加，大大增加了冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 水冷 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司，未经西安奕斯伟硅片技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911260499.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种数据存储器管理方法及系统
- 下一篇：一种排钉加工装置
