[发明专利]一种利用THz信号进行真空度检测的方法有效

专利信息
申请号: 201911260817.1 申请日: 2019-12-10
公开(公告)号: CN111024305B 公开(公告)日: 2021-07-13
发明(设计)人: 岳峰;陶伟;杨永旭;岳斌;施迎春;戴建新;徐鹏;刘斌;张云;苗琛;师涛;郑继辉 申请(专利权)人: 云南电网有限责任公司玉溪供电局
主分类号: G01L21/00 分类号: G01L21/00
代理公司: 昆明正原专利商标代理有限公司 53100 代理人: 金耀生;于洪
地址: 653199 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明涉及一种利用THz信号进行真空度检测的方法,该方法是在某一真空度下,分别采集该真空度下入射的和透射过后的THz信号数据,傅里叶变换后归一化,求得入射频谱和出射频谱的幅度变化程度P(n),并计算归一化后入射频谱和出射频率的频率变化值;做傅里叶反变换,得到对应的频率,选择其中的最大值fmax;调整真空度,重复上述步骤,以fmax横坐标,P(n)为纵坐标,绘制幅度差值‑频率图;之后选择幅度差值最大的频率,设置为检测专用频率,以真空度为横坐标,P(n)为纵坐标,制作幅度差值和真空度的拟合曲线,从而实现真空度的定标检测。该方法具有测量精确、优化数据、稳定直观的优点,易于推广应用。
搜索关键词: 一种 利用 thz 信号 进行 真空 检测 方法
【主权项】:
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