[发明专利]搬送方法及搬送系统在审
| 申请号： | 201911263165.7 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111326394A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 杉田吉平;河野太辅;柳义弘 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/677 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 示例性实施方式所涉及的搬送方法包括：通过搬送装置将聚焦环搬送至工作台上的步骤；将测量仪搬送至已搬送的聚焦环的内侧区域的静电卡盘上的步骤；通过所搬送的测量仪获取测量值组的步骤；根据测量值组求出第1偏移量及第2偏移量的步骤；根据第1偏移量及第2偏移量求出聚焦环的中心位置相对于静电卡盘的中心位置的偏移量即第3偏移量的步骤；及通过搬送装置根据第3偏移量调整聚焦环的搬送位置以使静电卡盘的中心位置与聚焦环的中心位置一致的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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