[发明专利]一种埃米级不同材料的三维打印方法

摘要

本发明公开了一种埃米级不同材料的三维打印方法，属于三维打印领域，目前的三维打印技术，在纳米级尺度很难实现打印，双光子打印技术打印的材料有限进行金属材料的打印等还存在很大的技术瓶颈。本发明通过前驱体气体借助类似原子层沉积的方式吸附或反应到基板上，再通过探针上的原子层反应液体反应进行每个原子层的绘图工作，最后在绘图完成后通过原子层沉积技术生长一个原子层的材料，循环往复上述步骤，打印出埃米级不同材料的三维物体。这种埃米级不同材料的三维打印方法，可以打印出埃米尺度的三维结构；可以使不同材料掺杂进行埃米级三维打印实现其功能性。