[发明专利]一种减铜微蚀剂及其制备方法在审
申请号: | 201911263870.7 | 申请日: | 2019-12-10 |
公开(公告)号: | CN110913596A | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 李晨庆;赫意;王扩军 | 申请(专利权)人: | 深圳市板明科技有限公司 |
主分类号: | H05K3/06 | 分类号: | H05K3/06 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 王文伶 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及金属蚀刻技术领域,具体为一种各向同性蚀刻优良的减铜微蚀剂,以及该种减铜微蚀剂的制备方法。本发明通过在硫酸‑双氧水的蚀刻剂体系中添加适量的所述缓蚀剂和含N杂环化合物,可减缓减铜微蚀剂蚀刻铜的速度,增加蚀刻的各向同性,并且通过含N杂环化合物在电流密度高的地方进行有效吸附,有利于金属离子在电流密度较低的地方沉积,从而使得板面凹处变得整平,从而使本发明的减铜微蚀剂具有减小孔口处树脂与孔壁之间缝隙的综合效果,基本保持完整形貌,保障电路板生产中后续工艺顺利进行。 | ||
搜索关键词: | 一种 减铜微蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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