[发明专利]一种用于重掺锑直拉单晶硅的掺杂装置及掺杂方法有效
| 申请号： | 201911264374.3 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN112941617B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 王万华;李超;郑沉;崔彬;李英涛;方峰 | 申请（专利权）人： | 有研半导体硅材料股份公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于重掺锑直拉单晶硅的掺杂装置及掺杂方法。该掺杂装置由透明的石英玻璃制成，包括固定支架、盛锑的石英杯和底托；所述固定支架包括固定环和连接杆，该固定环为圆形，固定环上设有缺口，并通过该缺口插接固定在籽晶夹头上方；所述石英杯的上部为圆筒形，下部为漏斗形且由五个小漏斗构成；所述石英杯的上端开口，下端在每个小漏斗底部设有通孔；所述底托由四根圆柱形石英棒构成，各个石英棒相互对称地连接在石英杯的外壁上。本发明的掺杂装置在掺杂过程中优点在于：可以直接固定在籽晶夹头上方，不用拆装籽晶和连接器，石英杯下部有五个通孔，缩短了掺杂的时间；底托石英棒下端与石英杯下端的距离固定，提高掺杂稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 重掺锑直拉 单晶硅 掺杂 装置 方法 | ||
【主权项】：
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