[发明专利]一种可调谐的薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 201911265024.9 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN110880924A | 公开（公告）日： | 2020-03-13 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;高超;邹杨;蔡耀;谢英;周杰;刘婕妤;刘炎;徐沁文 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/15;H03H9/17;H03H9/13 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 彭艳君 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种可调谐的薄膜体声波谐振器，包括位于中间区域的谐振器，以及谐振器周围的叉指结构。谐振器周围的叉指结构设置于谐振器对应的一条边或多条边上；叉指结构与谐振器对应边垂直，或与谐振器对应边成一定角度。谐振器周围的叉指结构的末端为直线，或弧线，或直线和弧线的混合结构；叉指结构的宽度、长度、数量、间距可调。该谐振器能够在不改变各层材料厚度的条件下调节薄膜体声波谐振器的谐振频率，实现在一片晶圆上制造不同工作频率的谐振器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调谐 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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