[发明专利]电极具有空隙层的体声波谐振器、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 201911266563.4 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111082776B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;郝龙;徐洋;张巍;张孟伦;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：底电极和/或顶电极为间隙电极，所述间隙电极具有空隙层，空隙层的上侧具有上电极层，空隙层的下侧具有下电极层，所述空隙层在谐振器的厚度方向上设置于所述上电极层与下电极层之间，上电极层与下电极层在空隙层的两端彼此并联电连接；上电极层和下电极层中的一个电极层为具有在谐振器的厚度方向上远离上电极层和下电极层中的另一个电极层的弧度的弧形电极层。本发明还涉及一种具有上述谐振器的滤波器以及具有该滤波器或谐振器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 具有 空隙 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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