[发明专利]一种改善半导体激光阵列光谱半宽的微通道热沉有效
申请号: | 201911267011.5 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN110957632B | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 罗校迎;于振坤;郎超;冉维彬;耿琳;徐磊;陈晓华 | 申请(专利权)人: | 北京凯普林光电科技股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/024 | 分类号: | H01S5/024 |
代理公司: | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人: | 权鲜枝;杨博涛 |
地址: | 100070 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种改善半导体激光阵列光谱半宽的微通道热沉,该微通道热沉包括:自下而上依次设置的底层、进出液层、隔离层、换热层和顶层;顶层表面用于安装半导体激光阵列,在半导体激光阵列安装区域的下方,换热层设置有横向分布的微通道阵列,微通道阵列从半导体激光阵列的后腔面向前腔面逐渐密集分布,微通道阵列的液体流向沿半导体激光阵列的慢轴方向,从微通道阵列的中间向两侧流动。本发明中微通道热沉的结构设计减少了微通道热沉的水阻,使得半导体激光阵列整体散热性能提高,并且使两侧与中间温度分布均匀,从而达到均匀散热的目的,进而降低半导体激光器的光谱半宽。 | ||
搜索关键词: | 一种 改善 半导体 激光 阵列 光谱 通道 | ||
【主权项】:
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