[发明专利]一种磷锗锌晶体的组合加工方法在审
| 申请号： | 201911267395.0 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111136812A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 阳红;曹中浩;戴晓静;张敏;刘有海;孙守利;尹承真;杨光伟 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B24B37/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 史丽红 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磷锗锌晶体的组合加工方法，包括如下步骤：1)首先采用超精密单点金刚石对磷锗锌晶体表面进行切削；2)然后采用化学机械对磷锗锌晶体切削后的表面进行抛光。本发明的加工方法通过超精密单点金刚石切削，使磷锗锌晶体面型精度快速收敛至亚微米级，表面粗糙度快速收敛至纳米级；通过化学机械抛光，实现磷锗锌晶体全局平坦化，表面粗糙度达到亚纳米级；所述超精密单点金刚石切削，生产效率高，重复性好，能够加工复杂面型光学表面；所述化学机械抛光材料去除量少，抛光过程中化学作用与机械作用同时进行，在化学机械耦合作用下获得高质量的晶体表面，可去除超精密单点金刚石切削过程中产生的原理性刀纹误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磷锗锌 晶体 组合 加工 方法 | ||
【主权项】：
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