[发明专利]一种锌镓氧紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种ZnGa2O4紫外探测器，包括依次复合而成的衬底、ZnGa2O4薄膜以及金属叉指电极；所述ZnGa2O4薄膜以有机锌化合物作为锌源，有机镓化合物作为镓源，以高纯氧气为氧源，利用金属有机化合物化学气相沉积法在衬底表面沉积得到。本发明使用金属有机化合物化学气相沉积法制备ZnGa2O4薄膜，通过增加氧气流量，增加氧分压，减少氧缺陷，使制备得到的ZnGa2O4薄膜层具有结晶质量高，不出现分相，吸收截止边陡峭等特点，进而使包含ZnGa2O4薄膜层的紫外探测器具有较低的暗电流，较高的响应度。