[发明专利]一种垂直腔面发射激光器及其制作方法在审
| 申请号： | 201911268050.7 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN110829179A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 张星 | 申请（专利权）人： | 长春中科长光时空光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/026 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 田媛媛 |
| 地址： | 130000 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种垂直腔面发射激光器，包括垂直腔面发射激光器组件、位于垂直腔面发射激光器组件表面的第一绝缘层、位于第一绝缘层的上表面的加热组件；加热组件包括金属层、接线垫、连接金属层和接线垫的导线；垂直腔面发射激光器组件包括从下至上依次分布的N型背面电极、衬底、N面DBR层、位于N面DBR层上表面第一预设区域的凸起结构，和分布在N面DBR层上表面除第一预设区域、凸起结构侧面、凸起结构上表面第二预设区域的第二绝缘层，以及分布在第二绝缘层外表面的P型注入电极。由于加热组件的体积很小、结构简单、成本低，从而使激光器的体积小，同时又能降低复杂程度和成本。此外，本申请还提供一种具有上述优点的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 发射 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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