[发明专利]化学增幅型正型感光性树脂组成物及其应用有效
申请号: | 201911268402.9 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN111381438B | 公开(公告)日: | 2023-06-20 |
发明(设计)人: | 刘骐铭;施俊安 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/039 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 孙磊;寿宁 |
地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种化学增幅型正型感光性树脂组成物,其包括树脂(A)、光酸产生剂(B)及溶剂(C)。本发明更包括应用此化学增幅型正型感光性树脂组成物所制得的保护膜,及包括此保护膜的组件。此保护膜具有良好的感度及耐化性,且可应用于薄膜晶体管基板用平坦化膜、层间绝缘膜或光波导路的芯材或包覆材。 | ||
搜索关键词: | 化学 增幅 型正型 感光性 树脂 组成 及其 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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