[发明专利]一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法有效
| 申请号： | 201911269722.6 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111076899B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 孟晓辉;王永刚;李昂;栗孟娟;杨业;白云立;徐领娣;赵静;李文卿;王兆明;杜妍 | 申请（专利权）人： | 北京空间机电研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01M11/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 李晶尧 |
| 地址： | 100076 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高精度大口径非球面竖直面形检测自动调整方法，属于先进光学制造与检测领域；步骤一、通过激光跟踪仪拟合零位补偿器的中心基准轴线；步骤二、搭建非球面竖直检测系统；步骤三、在待测反射镜的顶部侧壁处粘贴6‑8个靶球；通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的环口基准面；步骤四、在待测反射镜的侧壁粘贴8‑10个靶球；通过激光跟踪仪拟合待测反射镜的机械轴线；步骤五、确定投影轴线O′M；步骤六、通过调整台调整待测反射镜，实现机械轴线与投影轴线O′M重合，完成调整；本发明实现精确调整非球面检测光路中各个光学元件空间位置，具有调整精度高的特点，十分适用于米级口径以上的大口径非球面反射镜加工检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 口径 球面 竖直 检测 自动 调整 方法 | ||
【主权项】：
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