[发明专利]一种真空热蒸镀用一体化蒸发源在审
| 申请号： | 201911275234.6 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN112981327A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 刘生忠;焦玉骁;王辉;曹越先;杜敏永;段连杰;孙友名;王立坤;王开 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 郑伟健 |
| 地址： | 116023 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空蒸镀用一体化蒸发源，属于真空蒸镀技术领域，解决了一般热蒸发中加热不均匀性和热惯性大的问题，极大的简化了加热机构。本发明的真空蒸镀用坩埚组件主要包括坩埚和电极座两部分。其中坩埚两端为纯银电极涂层，电极间均为加热部分，镀有电热涂层。此坩埚组件结构简单，发热快速，发热体是坩埚本身，坩埚受热均匀，且热惯性小，能实现快速升温和降温，能实现蒸发速率的快速调控，达到蒸镀速率的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 热蒸镀用 一体化 蒸发 | ||
【主权项】：
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