[发明专利]一种探针式薄膜热电偶及其制备方法有效
| 申请号： | 201911277009.6 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111141401B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 田边;刘延;刘兆钧;张仲恺;刘江江;汪存峰;史鹏;林启敬;蒋壮德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;G01K1/00;H01L35/32;H01L35/34 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 房鑫 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种探针式薄膜热电偶及其制备方法，包括柱状基底、钨铼26薄膜区及氧化铟薄膜区，柱状基底的侧面开设有第一直槽及第二直槽，其中，钨铼26薄膜区分布于柱状基底的前端面上及第一直槽内，氧化铟薄膜区分布于柱状基底的前端面及第二直槽内，且位于柱状基底前端面的氧化铟薄膜区与钨铼26薄膜区相连接，第一金属引线与钨铼26薄膜区相连接，第二金属引线与氧化铟薄膜区相连接，该热电偶能够实现高温流场环境下的温度测量，且制备方法简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 薄膜 热电偶 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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