[发明专利]一种背板的制作方法有效
| 申请号： | 201911278099.0 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111128711B | 公开（公告）日： | 2023-02-07 |
| 发明（设计）人： | 刘俊领;张鑫 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306;H01L21/308;H01L21/02;H01L25/16 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种背板的制作方法，该方法包括：在衬底基板上制作第二金属层；对所述第二金属层进行图案化处理，形成阳极以及阴极；在所述第二金属层上形成第一钝化层，对所述第一钝化层进行图案化处理，以形成开口区域，所述开口区域用于将所述阳极和所述阴极裸露在外；在所述第一钝化层以及所述阳极和所述阴极上制作第二钝化层；在所述第二钝化层上制作遮光层，对所述遮光层进行图案化处理，以使与所述开口区域对应位置处的遮光层去除；将所述阳极和所述阴极上方的第二钝化层去除。本发明的背板的制作方法，能够提高发光器件的焊接效果和背板良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背板 制作方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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