[发明专利]渐变色镀膜机的镀膜质量控制方法在审
| 申请号： | 201911278479.4 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN112501578A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 黄乐;孙桂红;黄国兴;祝海生 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种渐变色镀膜机的镀膜质量控制方法，镀膜机设有膜厚仪，所述膜厚仪包括晶振探头和膜厚控制仪主机，晶振探头固定在工件转架的侧面，所述膜厚仪实时监测膜厚，每层镀膜后，如果膜厚仪检测到膜厚小于预设膜厚，则继续进行同色系溅射；如果膜厚仪检测出膜厚在预设膜厚的范围内，则进行下一层的镀膜。本发明提供渐变色镀膜机的镀膜质量控制方法，更精确的监测膜厚，并且实时反馈检测数据，进行随时修正，提高镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 渐变 镀膜 质量 控制 方法 | ||
【主权项】：
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