[发明专利]一种晶圆加热器表面温度分布检测装置在审
| 申请号： | 201911278592.2 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111189551A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 游利;贾坤良 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所(普通合伙) 32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种晶圆加热器表面温度分布检测装置，包括底部晶圆、上部晶圆、微型热电偶、可伐合金支架、真空电极与温度监测装置，所述的微型热电偶设置在底部晶圆与上部晶圆之间，所述的底部晶圆与上部晶圆设置在可伐合金支架上，所述的微型热电偶的信号线通过可伐合金支架固定，所述的微型热电偶通过真空电极与温度检测装置相连。本发明晶圆加热器表面温度分布检测装置通过使用双层晶圆、内部加强支架和测温点的精确加工，使用时由于有加强支架，检测装置使用时不易碎裂，使用双层晶圆结构热电偶测温头不易掉落,使用真空电极可以隔绝真空和大气，并通过真空电极将热电偶信号线引到大气侧，通过温度监测装置记录晶圆加热器表面温度分布情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 表面温度 分布 检测 装置 | ||
【主权项】：
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