[发明专利]具有通过电磁致动控制的可倾斜悬置结构的MEMS设备在审
| 申请号： | 201911279449.5 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111320131A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | R·卡尔米纳蒂;S·克斯坦蒂尼;R·吉亚诺拉;L·蒙塔格纳;F·M·C·卡尔皮格纳诺 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吕世磊 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | MEMS设备通过以下方式获得：在半导体本体上形成临时偏置结构；以及在半导体本体上形成致动线圈，致动线圈至少具有一个第一端匝、一个第二端匝、以及中间匝，中间匝被布置在第一端匝和第二端匝之间，并且通过临时偏置结构被电耦合至第一端匝。以此方式，在电镀生长期间中间端匝以与第一端匝近似相同的电势被偏置，并且在生长结束时，致动线圈具有近似均匀的厚度。在电镀生长结束时，临时偏置结构的部分被选择性地去除，以将第一端匝与中间匝电分离，并且与虚设偏置区域电分离，虚设偏置区域与第一端匝相邻。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 通过 电磁 控制 倾斜 悬置 结构 mems 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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