[发明专利]蒸镀装置、电子器件的制造装置以及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201911280341.8 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111321375B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 三村拓平 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及蒸镀装置、电子器件的制造装置以及蒸镀方法。在直列式的蒸镀装置中在清洁的环境下输送基板。蒸镀装置具备：输送机构，其包括保持并输送基板的输送载体以及构成供输送载体移动的输送路径的输送模块；对准室，向对准室送入被输送载体保持的基板，将掩模定位并固定于被送入到对准室的基板；蒸镀室，从对准室向蒸镀室送入被输送载体保持的基板，在被送入到蒸镀室的基板上蒸镀蒸镀材料；以及控制构件，控制构件通过对多个线圈施加电流或电压，从而控制在沿着基板的输送方向在输送载体上排列的多个磁铁和在输送模块上以与多个磁铁相向的方式排列的多个线圈之间产生的磁力，在输送载体与输送模块不接触的模式和两者接触的模式之间切换输送模式。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 电子器件 制造 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能特机株式会社，未经佳能特机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911280341.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
