[发明专利]一种拼接镜中边缘子镜的波前检测装置和方法有效
| 申请号： | 201911280851.5 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111006851B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 罗倩;吴时彬;汪利华;杨伟;范斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种拼接镜中边缘子镜的波前检测装置和方法，组合使用干涉仪和激光跟踪仪，采用计算全息片补偿像差检测拼接镜中边缘子镜的波前，波前检测装置包括高精度平面反射镜、升降架、被测边缘子镜、倾斜调整装置、计算全息片、小五维调整台、标准镜头、干涉仪、隔振平台、五维调整台、激光跟踪仪、靶球。利用激光跟踪仪建立干涉仪、被测边缘子镜和平面镜的空间坐标系，放入计算全息片对准干涉仪，将干涉仪与计算全息片作为一个整体，精调整体的俯仰和倾斜，形成自准直光路，调整直至干涉仪波前检测结果中像差项为最小，即为被测边缘子镜的波前检测结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拼接 边缘 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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