[发明专利]玻璃基板的保持用膜体和玻璃基板的研磨方法有效
| 申请号： | 201911281348.1 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111318958B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 柿崎干;阿部重人 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及玻璃基板的保持用膜体和玻璃基板的研磨方法。本发明提供一种玻璃基板的保持用膜体，该玻璃基板的保持用膜体的寿命长并且能够得到平坦度高的玻璃基板。一种玻璃基板的保持用膜体，其具备第一构件和第二构件，所述第一构件具有：在第一表面上吸附并保持玻璃基板的第一自吸附型片、设置在第一自吸附型片的第二表面上的第一粘合层、第一片状基材和第二粘合层；所述第二构件具有：在第一表面上吸附并保持玻璃基板的第二自吸附型片、设置在第二自吸附型片的第二表面上的第三粘合层、第二片状基材和第四粘合层；并且第一自吸附型片的第一表面与第二自吸附型片的第一表面连接。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 保持 用膜体 研磨 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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