[发明专利]三维形状计测方法和三维形状计测装置在审
| 申请号： | 201911281490.6 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111721195A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 小野田有吾;佐藤荣广;长谷川晶一 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;G01B21/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄志坚;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供三维形状计测方法和三维形状计测装置。在对测定对象物照射测定介质而根据干涉信号计测三维形状的三维形状计测方法中，包括更换了物镜的情况在内，简便且准确地进行干涉信号的摄像元件的焦点位置和干涉条纹的出现位置的调整。对摄像元件的位置进行调整，使得出现有所使用的物镜的干涉条纹的z轴上的位置与摄像元件的焦点位置的相对位置之差处于规定的范围。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 形状 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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