[发明专利]微通道板通道内抛光方法有效
| 申请号： | 201911282170.2 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111029230B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 李江;陈平香;栗重浩 | 申请（专利权）人： | 山西长城微光器材股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J43/24;C03C15/02 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030000 *** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微通道板通道内抛光方法，涉及电子倍增器微通道板的制造优化领域，针对采用传统工艺已经制造好的微孔阵列玻璃坯件，首先采用硝酸氢氟酸混合液进行超声波振动，再更换新的硝酸氢氟酸混合液磁力搅拌器中搅拌一定时间，采用纯水进行多次换水清洗；其次在氢氟酸+硫酸混液中也采用磁力搅拌器中搅拌一定时间，再采用纯水进行多次换水清洗；然后氢氟酸+硫酸+氟化铵混液中，在磁力搅拌器中搅拌，再采用纯水进行多次换水清洗；最后采用乙醇溶液清洗并放入真空烘箱中烧烤一定时间后，达到对微通道进行内抛光，本发明所提供的内抛光方法，满足ALD工艺对通道壁粗糙度要求的目的，该工艺避免了传统酸腐蚀对通道壁产生破损，造成发射点的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 通道 抛光 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山西长城微光器材股份有限公司，未经山西长城微光器材股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911282170.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：离线混部作业的资源调度方法及服务器系统
- 下一篇：一种防潮型试纸盒
