[发明专利]复合过滤器以及具备该复合过滤器的化学机械研磨装置在审
| 申请号： | 201911283084.3 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111318071A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 鲁荣硕 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/58 | 分类号： | B01D29/58;B01D29/33;B02C23/08 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 王娟 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于过滤化学机械研磨浆料的复合过滤器以及化学机械研磨装置，该复合过滤器包括：内层过滤器(10)以及外层过滤器(20)，外层过滤器(20)收容内层过滤器(10)，第二内侧面与内层过滤器(10)的第一外侧面(120)的至少一部分接触，沿着内层过滤器(10)的周向方向，在第一外侧面(120)上沿靠近轴心的方向凹设有多个外侧凹部(1120)和/或在第一内侧面(110)上沿远离轴心的方向凹设有多个内侧凹部(1110)，内层过滤器(10)的材料选自尼龙、聚丙烯、玻璃纤维、聚酯、棉花、聚酰胺、聚四氟乙烯、氟聚合物中的至少一种。通过上述构成，可以增加内层过滤器(10)的使用寿命，并能够减少非稼动工时并提高研磨产量。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 过滤器 以及 具备 化学 机械 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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