[发明专利]钙钛矿薄膜制备装置

摘要

本发明涉及太阳能电池生产技术领域，具体地说是一种钙钛矿薄膜制备装置，包括钙钛矿涂膜调整装置、反溶剂涂膜调整装置和衬底传输机构，钙钛矿涂膜调整装置和反溶剂涂膜调整装置均设于衬底传输机构上方，钙钛矿涂膜调整装置包括第一调整车、第一流量控制阀和钙钛矿涂膜元件，且钙钛矿涂膜元件可升降地设于第一调整车上并通过第一流量控制阀控制流量，反溶剂涂膜调整装置包括第二调整车、第二流量控制阀和反溶剂涂膜元件，且反溶剂涂膜元件可升降地设于第二调整车上并通过第二流量控制阀控制流量。本发明在湿膜刮涂后直接采用反溶剂后处理的方法来制备钙钛矿薄膜，可以实现在低温下制备大面积、均匀无针孔的钙钛矿薄膜。