[发明专利]一种改性氧化石墨烯、浆料、复合薄膜及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201911283229.X 申请日: 2019-12-13
公开(公告)号: CN110818951B 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 李金辉;王涛;张国平;孙蓉 申请(专利权)人: 中国科学院深圳先进技术研究院
主分类号: C08K9/04 分类号: C08K9/04;C08K3/04;C08L79/08;C08J5/18;C08G73/10;C01B32/198;H01L21/56
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 巩克栋
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种改性氧化石墨烯、浆料、复合薄膜及其制备方法和应用,所述改性氧化石墨烯为固化促进剂改性的氧化石墨烯;浆料包括改性氧化石墨烯、聚酰亚胺和/或聚酰亚胺前驱体、以及有机溶剂;复合薄膜是通过浆料固化形成的;复合薄膜具有较高的亚胺化率,以及较低的介电常数和较低的固化温度,使其能够作为特种功能塑料应用于半导体先进封装中,能够较好的避免超薄晶圆和重构晶圆的翘曲,并能有效避免不耐热元件的损坏。
搜索关键词: 一种 改性 氧化 石墨 浆料 复合 薄膜 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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