[发明专利]一种改性氧化石墨烯、浆料、复合薄膜及其制备方法和应用有效
申请号: | 201911283229.X | 申请日: | 2019-12-13 |
公开(公告)号: | CN110818951B | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 李金辉;王涛;张国平;孙蓉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
主分类号: | C08K9/04 | 分类号: | C08K9/04;C08K3/04;C08L79/08;C08J5/18;C08G73/10;C01B32/198;H01L21/56 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种改性氧化石墨烯、浆料、复合薄膜及其制备方法和应用,所述改性氧化石墨烯为固化促进剂改性的氧化石墨烯;浆料包括改性氧化石墨烯、聚酰亚胺和/或聚酰亚胺前驱体、以及有机溶剂;复合薄膜是通过浆料固化形成的;复合薄膜具有较高的亚胺化率,以及较低的介电常数和较低的固化温度,使其能够作为特种功能塑料应用于半导体先进封装中,能够较好的避免超薄晶圆和重构晶圆的翘曲,并能有效避免不耐热元件的损坏。 | ||
搜索关键词: | 一种 改性 氧化 石墨 浆料 复合 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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