[发明专利]电学测试监控反馈式化学气相沉积系统及其应用

摘要

本发明公开了一种电学测试监控反馈式化学气相沉积系统及其应用，属于化学气相沉积领域。系统包括化学气相沉积系统和电学测试系统，所述化学气相沉积系统包括高温炉，所述高温炉中的炉腔内设有穿过高温炉的三通炉管，所述三通炉管设有上方开口，上方开口处的正下方设置有载样台；所述电学测试系统包括通过内置导线连接的四探针测试杆和四探针测试仪；所述四探针测试杆与上方开口密封连接。本发明通过对化学气相沉积系统炉管的改造，使化学气相沉积系统与电学测试系统结合，进而有效的实现了对样品生长质量的实时监控以及能够及时反馈至控制系统以调节生长参数，生成原子层级厚度的样品，灵活性强，成膜效果好，样品性能高。