[发明专利]缺陷检测装置及缺陷检测方法在审
| 申请号： | 201911283887.9 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN111323423A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 久利龙平 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 车美灵 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请提供缺陷检测装置及缺陷检测方法，能够检测比像素更小的缺陷的位置以及缺陷的大小。缺陷检测装置具备对测定对象照射照明光的照明部、对由所述测定对象反射后的所述照明光进行拍摄的拍摄部、以及基于由所述拍摄部拍摄所述照明光而得到的拍摄图像对所述测定对象的表面的缺陷进行检测的检测部，所述拍摄图像包括分光波长分别不同的多个分光图像，所述检测部基于多个所述分光图像对所述照明光被扩散反射的扩散反射区域进行检测，并基于检测到所述扩散反射区域的所述分光图像的分光波长来判定缺陷尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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