[发明专利]一种钙钛矿太阳电池制备方法及制备装置

摘要

本发明公开了一种钙钛矿太阳电池制备方法及制备装置。该制备装置包括气体输运系统、反应源供应系统、真空加热沉积系统、尾气处理系统及控制系统。一种钙钛矿太阳电池制备方法，为低压气相沉积方法(lpvd)制备钙钛矿太阳电池功能层和钙钛矿太阳电池。本发明具备以下优点：制备方法及制备装置，相比于溶液法制备钙钛矿太阳电池的手套箱，不需要氮气气氛保护，运行成本低；密闭性好，反应源不会渗漏，对人员和环境友好；可以实现大面积连续化生产。2)本发明中的制备方法及制备装置，相比于真空蒸发法采用固体粉末作为反应源制备钙钛矿太阳电池，采用溶液作为反应源，制备的大面积钙钛矿太阳电池转换效率更高。