[发明专利]一种制作N型PERT双面太阳电池及其制备工艺

摘要

本发明公开一种制作N型PERT双面太阳电池及其制备工艺，所述制备工艺包括：制绒步骤:对N型硅片正背双面进行制绒；离子注入步骤：对N型硅片正面离子注入硼形成PN结，对N型硅片背面离子注入磷形成N+N结，形成双结结构；双面同时加工步骤：对双结结构的N型硅片正背双面同时加工制备钝化减反结构；烧结步骤：对双面同时加工后的N型硅片进行共烧结处理，形成N型PERT双面太阳电池，所述钝化减反结构包括逐层叠加的SiO2钝化膜、SiNX减反膜以及Ag电极，通过对N型硅片双面同时逐层制备SiO2钝化膜、SiNX减反膜以及Ag电极，形成双面太阳电池，由于同时进行加工，制备流程短，加工效率高，满足市场需求。