[发明专利]一种真空处理器用真空控制器在审
申请号: | 201911290249.X | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN110953370A | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | 王国柱 | 申请(专利权)人: | 南京公汇科技有限公司 |
主分类号: | F16K5/06 | 分类号: | F16K5/06;F16K5/12;F16K27/06;F16K37/00;F16K41/04;F16K43/00;F16K51/02 |
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地址: | 210000 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种真空处理器用真空控制器,包括母阀和子阀两个,母阀的左侧面和子阀的右侧面焊接,母阀的进气腔和子阀的进气腔以及母阀的出气腔和子阀的出气腔之间通过管道连通,连通两个进气腔之间的管道内设有放置有活塞,活塞内设有L形侧通道,通道的一端与上侧面连通,通道的另一端与活塞的顶面连通,活塞顶面设有螺纹孔,螺纹孔的正上方的设有螺杆,螺杆的顶部穿过子阀的壳体且与壳体螺纹连接,螺杆顶部焊接有转动把手,通道正上表面上安装有透明的观察窗,观察窗上刻度标尺;本发明能够实现在控制器损坏后,免于拆卸,快速启用备用排气口,同时本装置可以观察控制器气压情况,对控制器内的气压有一定的缓冲作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 处理 器用 控制器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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