[发明专利]在阵列间具有亚微米Y轴对准的多个线性传感器阵列在审
申请号: | 201911290570.8 | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN111435099A | 公开(公告)日: | 2020-07-21 |
发明(设计)人: | J·F·卡塞伊;G·D·雷丁;R·P·赫尔洛斯基 | 申请(专利权)人: | 施乐公司 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 樊英如 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明题为“在阵列间具有亚微米Y轴对准的多个线性传感器阵列”。本公开提供了一种传感器阵列组件,其包括第一传感器阵列、第二传感器阵列和安装基板。第一传感器阵列包括第一进程方向宽度和第一感光基元,而第二传感器阵列包括第二进程方向宽度和第二感光基元。第一传感器阵列和第二传感器阵列单独地固定在安装基板上。第一感光基元与第二感光基元精确对准。 | ||
搜索关键词: | 阵列 具有 微米 对准 线性 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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