[发明专利]一种六面包覆型芯片尺寸的封装结构及其封装方法在审
申请号: | 201911291000.0 | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN110808230A | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 金豆;徐虹;徐霞;陈栋;张黎;赖志明;张国栋;陈锦辉 | 申请(专利权)人: | 江阴长电先进封装有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/56 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214434 江苏省无锡市江阴*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明一种包覆型芯片尺寸的封装结构及其封装方法,属于半导体封装技术领域。其包括硅基本体(111)和芯片电极(113),且芯片电极(113)嵌入硅基本体(111)表面,露出芯片电极(113)的正面。在硅基本体(111)表面设置钝化层(210),且在芯片电极处设置有钝化层开口(213),所述钝化层开口(213)的尺寸小于芯片电极(113)的尺寸,且露出芯片电极(113)的正面。主要先完成重现布线层(510),然后进行晶圆重构,完成五面包覆。在完成金属凸块(520)后,对所述芯片正面进行包覆,最终实现六面包覆。本发明有效隔绝芯片表面介电层Ⅰ与外界环境;另一方面,对介电层Ⅱ表面缓冲应力的同时,还可以支撑金属凸块,提高金属凸块的可靠性的作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 面包 芯片 尺寸 封装 结构 及其 方法 | ||
【主权项】:
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