[发明专利]旋转式微通道板腐蚀装置与腐蚀方法有效
| 申请号： | 201911291531.X | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN111128638B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 李婧雯;孙建宁;张欢;邱祥彪;张正君;丛晓庆;牛鹏杰;孙赛林;高鹏;郭一亮 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J43/24 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王培松 |
| 地址： | 650217 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明提供一种旋转式微通道板腐蚀装置与腐蚀方法，包括：电动机；液压传动组件，具有液压传动轴；用于放置腐蚀夹具的托盘，与液压传动组件连接；石英腐蚀夹具，设置在所述托盘上腐蚀槽；供排液系统；以及用于清洗微通道板的超声波装置；电动机输出的扭力通过液压传动组件施加到托盘上，驱动托盘可进行周向旋转，并且所述液压传动组件为可升降液压传动组件，在其驱动下使得托盘上下升降以进入和脱离腐蚀槽；所述液压连杆组件将腐蚀托盘和电动机置于腐蚀液位上下两侧，腐蚀过程中所述腐蚀槽中液体完全没过石英腐蚀夹具，并通过托盘自身旋转来实现微通道板快速腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 式微 通道 腐蚀 装置 方法 | ||
【主权项】：
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