[发明专利]用于光学元件表面颗粒污染物的处理系统在审
| 申请号： | 201911291678.9 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN110813924A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 牛龙飞;苗心向;周国瑞;刘昊;吕海兵;蒋一岚;蒋晓东;周海;倪卫 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B08B6/00 | 分类号： | B08B6/00;B08B5/02;B08B15/04 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光学元件表面颗粒污染物的处理系统，包括：底板，其上通过支撑柱放置有光学元件；风刀及离子棒单元，其通过支撑单元连接在底板上，且风刀及离子棒单元位于光学元件的一端，并使风刀及离子棒单元的出风口正对光学元件的上表面；静电吸附电极，其包括平行设置的正电极棒和负电极棒，正电极棒和负电极棒分别通过电极支撑架连接在底板上，且正电极棒位于光学元件的上方，负电极棒位于光学元件的的下方。本发明通过风刀及离子棒产生离子风或高速气流将光学元件表面的污染物去除并使污染物荷电，采用静电吸附电极在光学元件末端或将静电吸附电极带动在光学元件表面进行来回运动，对污染物进行收集，从而达到污染物去除的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学 元件 表面 颗粒 污染物 处理 系统 | ||
【主权项】：
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