[发明专利]具有悬臂结构的压电MEMS装置在审
| 申请号： | 201911292753.3 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN112284513A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | D.多塞夫;D.P.波塔塞克;M.A.奇尔德里斯 | 申请（专利权）人： | 罗斯蒙特航天公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 徐予红;申屠伟进 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的主题是“具有悬臂结构的压电MEMS装置”。一种MEMS装置包括第一层、第二层、第一系留部分、第二系留部分和MEMS装置主体，所述第二层连接到所述第一层。所述MEMS装置主体连接到所述第一系留部分和所述第二系留部分。所述MEMS装置主体还包括第一悬臂、第二悬臂和弹簧，所述第一悬臂附接到所述第一系留部分，所述第二悬臂附接到所述第二系留部分。所述弹簧与所述第一悬臂和所述第二悬臂可操作地连通。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 悬臂 结构 压电 mems 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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