[发明专利]一种基于粒子塑形的真空镀膜装置在审
| 申请号： | 201911294004.4 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN111058002A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 金驰 | 申请（专利权）人： | 金驰 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 郭智 |
| 地址： | 215400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种基于粒子塑形的真空镀膜装置，包括蒸镀腔、设置于蒸镀腔中的第一蒸发源与基板，真空蒸镀装置还包括设置于蒸镀腔中的塑形板与补膜板；塑形板设置于第一蒸发源的上方，其内部开设有若干间隔设置的塑形孔，塑形孔为通孔，其孔径自下由上逐渐减小，塑形孔在塑形板底面上形成的孔径大于蒸发粒子的直径，在塑形板顶面上形成的孔径小于蒸发粒子的直径；补膜板设置于塑形板与基板的中间，其内部开设有若干补膜孔与若干间隔设置的蒸发孔，补膜孔所处的区域为蒸发孔之间的间隔区域；蒸发孔为通孔，其孔径等于塑形孔在塑形板顶面上形成的孔径；补膜孔的底端封闭，其内部设置有第二蒸发源。通过本发明的实施，能够对基板进行均匀的镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 粒子 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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