[发明专利]一种诊断集成电路装备运行状态的装置及方法在审
| 申请号： | 201911294083.9 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN111158337A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 袁伟;赵宇航;李铭 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;马盼 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种诊断集成电路装备运行状态的方法，包括如下步骤：S01：形成诊断模型；S02：所述声音采集模块采集集成电路装备运行过程中的诊断声音数据；S03：所述诊断声音数据传输至所述诊断模型中，所述诊断模型根据该诊断声音数据判断所述集成电路装备的运行状态，并将判断结果传输至反馈模块；S04：所述反馈模块根据接收到的运行状态，判断所述集成电路装备运行是否正常。本发明提供的一种结合深度学习和声纹识别技术的诊断集成电路装备运行状态的装置和方法，相对于现有装备的诊断方式，本发明可以在成本可控的前提下大幅提升装备状态诊断的成功率和及时性、减小装备异常带来的损失、并提升装备的性能和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 诊断 集成电路 装备 运行 状态 装置 方法 | ||
【主权项】：
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