[发明专利]含有Mo、W和Se的合金和相关复杂异质结及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911294395.X 申请日: 2019-12-16
公开(公告)号: CN111005005B 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: 袁小明;方龙;陶少华;周易瑾 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30;C23C16/455;C23C16/52
代理公司: 长沙智路知识产权代理事务所(普通合伙) 43244 代理人: 曲超
地址: 410083 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明涉及一种含有Mo、W和Se的合金和相关复杂异质结及其制备方法,该制备方法包括如下步骤:1)将氧化钼、氧化钨研磨并混合均匀得到混合原料;2)将硒粉置于管式炉中的第一温区,混合原料置于管式炉中的第二温区,清洗过的衬底置于混合原料的末端;3)抽取空气使管式炉内达到真空,然后向其通入惰性气体至内压强达到常压;4)加热第一温区和第二温区,在加热过程中向所述管式炉中通入氩氢混合气体,第一温区和第二温区同时分别达到270℃~420℃和800℃~940℃后生长一段时间,获得含有Mo、W和Se的合金及相关垂直或横向异质结。本发明的制备方法不需要频繁的变换气路,降低了实验的复杂程度。
搜索关键词: 含有 mo se 合金 相关 复杂 异质结 及其 制备 方法
【主权项】:
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