[发明专利]对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 201911297334.9 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111850461A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 小林康信 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56;H01L51/56;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法，在成膜装置中，提高使用对准载置台对基板与掩模进行对准时的对准精度。使用进行基板与掩模的位置对合的对准装置，其中，该对准装置具有：基板支承部件；对准载置台，使支承于基板支承部件的基板平移或旋转；控制部，驱动对准载置台；以及位置获取部件，对基板对准标记进行检测而获取位置信息，控制部一边使对准载置台以载置台中心位置为中心旋转，一边通过位置获取部件多次获取基板对准标记的位置信息，基于多个位置信息，获取载置台中心位置的信息，使基板相对于基板支承部件相对地移动，以使作为基板的中心的基板中心位置来到通过载置台中心位置的对准载置台的旋转轴上。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 装置 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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