[发明专利]粉末收集系统在审
| 申请号： | 201911298398.0 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111330735A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 李东根;李殷廷;崔致久;金成基 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | B03C1/30 | 分类号： | B03C1/30;G01N15/06 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 王娟 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种粉末收集系统，包括处理室、第一粉末捕集装置和真空泵，所述第一粉末捕集装置与所述处理室连通；所述真空泵与所述第一粉末捕集装置连通；所述第一粉末捕集装置包括内腔和多个隔板，所述多个隔板垂直交错设置在所述内腔内，用于将所述内腔分割成多个相互连通的区域，形成与所述内腔的进气端和出气端连通的通道，所述通道包括并联设置的第一气流通道和第二气流通道，所述内腔的进气端与所述处理室连通，所述内腔的出气端与所述真空泵连通；所述粉末收集系统还包括检测器，设置在所述内腔的出气端，用于检测气流大小，并根据检测结果判断所述第一粉末捕集装置是否需要清理。 | ||
| 搜索关键词： | 粉末 收集 系统 | ||
【主权项】：
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