[发明专利]一种MEMS结构在审
| 申请号： | 201911298456.X | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111182430A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；压电复合振动层，形成在所述空腔的正上方；连接件，形成在所述衬底上方并且连接所述衬底和所述压电复合振动层。本申请的MEMS结构通过连接件实现了衬底和压电复合振动层的弹性接合，获得了较低的谐振频率，其频率范围是100‑10000Hz。MEMS结构通过在谐振频率附近工作，获得高的灵敏度，起到有效的唤醒作用。并且该制造方法工艺相对简单，易于实现，提高了产品的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 结构 | ||
【主权项】：
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