[发明专利]检查治具及其制造方法、以及具有检查治具的检查装置在审
| 申请号： | 201911298847.1 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111352018A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 山崎秀和;太田宪宏 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26;G01R1/04;G01R1/073;G01R3/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检查治具及其制造方法、以及具有检查治具的检查装置。本发明使能够将探针的一端部与检查对象的被检查部正确地对位的检查治具、及具有所述检查治具的基板检查装置的生产性提高。本发明的检查治具包括：棒状的探针(3)，一端部被压接于检查对象；以及板状的第一支撑体(检查侧支撑体(5))，具有支撑所述探针(3)的支撑孔(51)，并且所述支撑孔(51)包括随着从所述第一支撑体(检查侧支撑体(5))的一壁面(相向壁面(5A))侧靠近所述第一支撑体(检查侧支撑体(5))的板厚方向中间部(5C)侧而扩径的第一锥孔部(53)。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 及其 制造 方法 以及 具有 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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