[发明专利]计量学目标的极化测量及对应的目标设计有效
| 申请号： | 201911299611.X | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN111043958B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 依兰·阿米特;巴瑞·罗维斯凯;安德鲁·希尔;阿姆农·玛纳森;努里尔·阿米尔;弗拉基米尔·莱温斯基;罗伊·弗克维奇 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/95;H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例涉及一种计量学目标的极化测量及对应的目标设计。本发明提供目标、目标元件及目标设计方法，其包括将目标结构设计为具有相对于其在极化光中的背景的高于特定对比度阈值的高对比度，同时具有相对于其在非极化光中的背景的低于所述特定对比度阈值的低对比度。所述目标可具有装置特征级的细节且可与装置设计规则兼容，在结合极化照明测量时仍维持光学对比度且因此被有效用作计量学目标。同样提供设计变型及相应测量光学系统。 | ||
| 搜索关键词： | 计量学 目标 极化 测量 对应 设计 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911299611.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
