[发明专利]一种曝光机自动上下片装置在审
| 申请号： | 201911300564.6 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111007701A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 王忠浩 |
| 地址： | 517000 广东省河*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曝光机自动上下片装置，包括传送机械手、第一装片卡槽、第二装片卡槽、自动对平边装置与曝光机，所述传送机械手设置在所述曝光机前端，所述第一装片卡槽设置在所述传送机械手左侧，所述自动对平装置设置在所述传送机械手与所述曝光机之间，所述传送机械手适于将所述第一装片卡槽中的晶元输送至所述自动对平装置中，由所述自动对平边装置将晶圆输送至所述曝光机中进行曝光，该曝光机自动上下片装置取代了现有人工取片与放片的方式，有效避免人工取放晶元时出现误操作状况的发生，同时节省人力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 自动 下片 装置 | ||
【主权项】：
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